玉崎科學(xué)ONYX 3000半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具

混合 XRF 和光學(xué)計(jì)量 FAB 工具
能量色散X射線熒光光譜儀（ED-XRF），能夠以無損、非接觸的方式同時分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。

產(chǎn)品型號：ONYX 3000
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-09-29
訪問量：240

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CLASSIFICATION

Rigaku理學(xué)

單晶結(jié)構(gòu)分析半導(dǎo)體測量設(shè)備

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詳細(xì)介紹

玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具

ONYX 3000 特點(diǎn)

Microspot X 射線束和模式識別

器件結(jié)構(gòu)的 2D 和 3D 光學(xué)特性

高通量、全面和生產(chǎn)晶圓測量

廣泛的材料和應(yīng)用

高分辨率和精確度覆蓋從埃到微米的厚度

輕元素靈敏度的氦氣吹掃測量環(huán)境

可配置用于小于 300mm 的晶圓

基于SEMIS2和SEMIS8的設(shè)計(jì)

ONYX 3000 規(guī)格

產(chǎn)品名稱	瑪瑙
方法	X 射線熒光和光學(xué)顯微鏡
目的	測量從超薄單層薄膜到多層薄膜的所有材料。 BEOL 和 WLP 結(jié)構(gòu)的表征
技術(shù)	處理微點(diǎn) EDXRF 和 2D、3D 光學(xué)顯微鏡
主要部件	SEMIS2和SEMIS8，基于微點(diǎn)多毛細(xì)管X射線光學(xué)器件的設(shè)計(jì)
選項(xiàng)	SECS/GEM通訊軟件、COLORS光束模塊
控制（電腦）	內(nèi)部 PC、MS Windows® 操作系統(tǒng)
機(jī)身尺寸	1390（寬）×2040（高）×2960（深）毫米
大量的	1250公斤（身體）
電源	單相 208 VAC 50/60 Hz，16A

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