日本 YAMAMOTO 山本鍍金 電鍍實(shí)驗(yàn)裝置

日本 YAMAMOTO 山本鍍金 電鍍實(shí)驗(yàn)裝置

2-12英寸硅片電鍍?cè)O(shè)備一套。通過使用特殊的夾具，可以進(jìn)行半導(dǎo)體和MEMS的精密電鍍。

特征

水族箱的結(jié)構(gòu)是不斷進(jìn)行過濾，同時(shí)從水箱底部產(chǎn)生溫和的對(duì)流，導(dǎo)致溢出。

有可進(jìn)行高速攪拌的1面溢流型和2面溢流型。使用槳式攪拌直接攪拌。

也可作為生產(chǎn)設(shè)備使用。

基材材質(zhì)

它不僅可用于硅晶圓，還可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

關(guān)于定制生產(chǎn)

基于標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，我們可以定制形狀與您的樣品相匹配的夾具和雙面電鍍夾具。我們
還擁有陽極氧化和陽極氧化夾具等制造設(shè)備的跟蹤記錄。
夾具有全密封夾具、非密封夾具、臥式夾具等多種類型

(*1) 請(qǐng)選擇定向平面型/缺口型。 還備有密封型/吸入密封型
（*2）不溶性陽極也備有隔膜型。
(*3) 英寸數(shù)填寫在產(chǎn)品編號(hào)的□標(biāo)記中。
(*) 這是一套適用于 YPP 電源的電源、溫度控制器和陽極板單獨(dú)出售。請(qǐng)與A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分開 電源。PC單獨(dú)出售。

該設(shè)備對(duì)硅片和板狀樣品進(jìn)行化學(xué)鍍。電鍍是通過旋轉(zhuǎn)一張或多張晶圓并上下擺動(dòng)它們來進(jìn)行的。它還可用于清潔樣品。

這是電鍍用搖擺裝置，尺寸與晶圓水箱兼容。在樣品附近攪拌可提高電鍍沉積的均勻性。